Анализатор инфрацрвене спектроскопије са Фоуриер-овом трансформацијом (ФТИР) се користи у индустрији производње полупроводника. ФТИР је инструмент за спектралну анализу који користи инфрацрвену спектроскопију за анализу концентрације нечистоћа кроз Фуријеову трансформацију. Спектрометар се углавном састоји од извора светлости (силицијум-карбонска шипка, живина лампа високог притиска), Мајкелсоновог интерферометра, детектора и интерферометра
Инфрацрвена светлост коју емитује инфрацрвени извор светлости С колимује се у паралелни инфрацрвени сноп и улази у систем интерференције. Након подешавања интерферометра, добија се сноп интерферентне светлости. Интерферентна светлост пролази кроз узорак Са да би добила сигнал интерференције који садржи спектралне информације, који стиже до детектора Д и затим се претвара у електрични сигнал помоћу Д. Сигнал интерференције овде је временска функција, што је образац интерференције нацртан сигналом сметње. , а његова хоризонтална оса је време кретања или растојање огледала у покрету. Овај образац интерференције се шаље рачунару преко А/Д претварача, а рачунар изводи брзе прорачуне Фуријеове трансформације да би добио инфрацрвени спектар са таласним бројем као хоризонталном осом. Затим се шаље на катер кроз Д/А претварач да би се нацртао веома познати стандардни инфрацрвени апсорпциони спектар.
